二手 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-2345 #9064559 待售
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BROOKS/PRIA AUTOMATION ATM-2345是一款最先进的晶圆处理器,专为大批量生产半导体晶圆而设计。BROOKS ATM-2345在单个集成单元中提供中央物料处理和自动化操作。PRI AUTOMATION ATM-2345具有一个大型晶片装载机,能够处理200 mm晶片并将其卸载到传送带上,以便运输到主加工站。该加工站包括一个先进的机械臂设备,使晶圆操作和自动放置到各种加工工具。ATM-2345具有一系列功能,例如远程诊断、生产监控系统和完整的基于PC的控制。此外,BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-2345还配备了低粒子发射外壳和除尘装置。BROOKS ATM-2345由高品质的不锈钢构成,提供坚固的设计,减少污染风险,同时提供优异的性能和可靠性。它还利用带有内置空气过滤机的密封外壳、低噪声风扇控制以及易于与其他工艺设备集成的模块化组件。PRI AUTOMATION ATM-2345还设计了一个灵活的操作员界面,除了广泛的数据记录和分析功能外,它还可以方便地访问所有机器功能。ATM-2345是一个高效率的晶圆处理程序,使其成为任何生产或研发环境的宝贵组成部分。它能够达到每小时500个晶圆的速度,非常适合大批量生产。BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-2345也是高度可配置的,因此可以针对不同的流程进行定制。这包括自动卸载到传送带以及各种处理方法,如湿蚀刻和溅射等功能。此外,BROOKS ATM-2345还包括许多安全功能,如原位E-stop和盖子开放式联锁。PRI自动化ATM-2345是技术行业中最先进、最可靠的晶圆处理程序之一。它在单个集成单元中提供高质量的晶片加载和处理,并且高度可配置以满足不同应用的需求。ATM-2345还具有一系列安全功能,以确保操作员和人员的安全,并且能够实现高晶圆吞吐量,使其成为任何大批量生产环境的理想选择。
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