二手 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-305-1 #9211142 待售

BROOKS/PRIA AUTOMATION ATM-305-1 Wafer Handler是一种设计精良且可靠的自动化设备,设计用于处理薄而敏感的晶片（如半导体制造中使用的晶片）。BROOKS ATM-305-1是一个两轴晶圆处理程序，在X轴和Y轴上都有空气轴承。这提供了卓越的低摩擦运动和出色的位置精度，使其能够处理直径达6英寸的晶片，最大50微米的总误差。PRI AUTOMATION ATM-305-1配备了三轴光检测系统，用于精确地将晶片设置在精确的位置。一旦晶片被精确对齐，处理程序就可以用短而高精度的步骤移动它，确保每个晶片在处理操作过程中被精确定位。这对于使用纤薄晶片特别有用,因为精确定位对于使用这些精细材料至关重要。ATM-305-1还配备了一套驱动电机，包括两台非常高扭矩的步进电机，提供稳定、可重复的力，使其能够安全准确地移动晶片。还包括一些安全功能，如控制传感器、冗余安全装置和可选的电离空气喷射。这样可以确保晶片的安全处理,并降低晶片损坏的风险。此外,BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-305-1还提供一系列维护和支持功能。这包括远程诊断和控制,允许操作员从PC或移动设备检查处理程序的状况。此外，该系统还提供了一系列备件和组件，允许操作员自行进行维修和更换。总体而言,BROOKS ATM-305-1晶片处理程序是使用敏感晶片的绝佳选择,因为它具有高度精确和可靠的运动控制、安全特性以及维护和支持特性。有了这个系统，就可以实现一个可靠准确的生产过程，确保每一个晶片处理的错误或损坏最小。