二手 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-305-1 #9211145 待售

BROOKS/PRIA AUTOMATION ATM-305-1是一款最先进的晶圆处理程序,专为大容量处理程序而设计。自动晶圆处理程序可以容纳200毫米以下的晶圆大小，并允许晶圆到晶圆的匹配和堆迭。它的高速使每小时最多可处理300个晶圆，一次最多可处理60个晶圆。设备还可以接受来自七个不同来源的晶片，并且可以将晶片转移到系统的三个不同部分。BROOKS ATM-305-1有几个使它成为顶级晶圆处理程序的功能。它是为了可靠性和低维护而设计的，并且内建了大量的传感器来监视设备的运行和寿命。它的模块化设计有助于确保组件易于维修。此外，该装置的设计具有高精度和重复性，在定位晶片时精度± 1 μ米。PRI AUTOMATION ATM-305-1还具有许多安全功能。它设计有门互锁和E-Stop,以确保操作员不会受到威胁,并且在紧急情况下机器会很快关闭。它还有一个空气淋浴，以帮助保护晶片免受污染。此外，淋浴功能有助于在转移过程中去除晶片中的颗粒。该工具还包括吸力特性，以帮助处理和转移晶圆。ATM-305-1是加工晶片体积的绝佳选择。它强大的设计、安全特性、高精度和灵活性,使其成为各种大容量过程的绝佳解决方桉。它的E-Stops和其他安全功能也使它成为安全的选择。BROOKS/PRIA AUTOMATION ATM-305-1的模块化设计也以最小的维护确保了长期的操作可靠性。总而言之，BROOKS ATM-305-1是高容量晶圆加工的绝佳选择。