二手 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-305 #9164185 待售

BROOKS/PRIA AUTOMATION ATM-305 Wafer Handler是一款高效可靠的机器人处理器，用于提供半导体和太阳能电池板生产、晶圆检验等高精度制造作业的运输和处理解决方桉。BROOKS ATM-305由铰接式机械臂、自动晶圆传输设备和集成控制系统组成。PRI AUTOMATION ATM-305的铰接式机械臂能够以最小的振动提供精确和精确的运动。它的六个运动轴包括线性和旋转运动，线性轴的速度可达200毫米/秒，旋转轴提供高达180度/秒的旋转速度。该运动单元的设计旨在以非接触方式提供精确和受控的运动,从而实现最大程度的产品保护和可靠性。ATM-305的自动晶圆转换机与机械臂完全集成，提供可靠和高效的晶圆送入和送出加工室或检查室。其双向晶片传输能力确保了晶片的安全可靠的输送，不需要托盘或输送机。集成的自动剪切工具可确保晶片在传输操作过程中保持牢固连接,从而使产品顺利、安全地交付。BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-305的集成控制资产提供了对所有机器人和传输组件的完整控制和操作，并允许对晶圆处理过程进行轻松、精确的控制。它的开放式体系结构设计允许快速、轻松地与外部系统集成,从而确保快速安装和可靠的操作。此外,BROOKS ATM-305还提供各种可定制的功能,如可编程运动参数、自动输入/输出功能以及与外部视觉系统的接口。总体而言,PRI AUTOMATION ATM-305 Wafer Handler为晶圆和其他高精度零件的运输和处理提供了可靠高效的解决方桉。其先进的运动能力、健壮的输送模型、集成的控制设备相结合，使其成为半导体、太阳能和其他高精度制造作业的完美解决方桉。