二手 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-407-2-S-CE #9211143 待售

BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-407-2-S-CE
ID: 9211143
Robot.
BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-407-2-S-CE是为半导体制造环境设计的晶圆处理器。它是各种尺寸晶圆载波自动装卸的理想解决方桉。这个晶圆处理程序拥有一个令人印象深刻的机器人手柄,能够在负载端口和加工工具之间快速准确地传输晶圆。它具有两个独立的机械臂,由伺服电机驱动,以实现平滑和精确的运动。BROOKS ATM-407-2-S-CE配备了一系列安全功能来保护操作员、工具和设备。先进的安全联锁设备不允许机器人手臂移动,除非负载端口和模具上的验证传感器经过验证并处于适当位置。它还有一个全面的故障检测系统,可以检测错误,在损坏发生前立即关闭设备。PRI AUTOMATION ATM-407-2-S-CE的高速机器人驱动器每小时最多可处理150个晶圆。柔性晶片处理机设计可容纳单晶片和集群,每平方英寸最多16个。它配备了一个模具工具,使多个标准晶片持有者能够在同一个安装中使用一个简单的转换。这个晶圆处理程序包含一个可轻松集成的Cognex视觉资产,从而能够快速准确地识别晶圆。视觉模型能准确检测晶片在装卸过程中的划痕、碎屑等损伤。由于其无刷伺服电机和坚固的机械设计,ATM-407-2-S-CE晶圆处理器非常节能。其额定功率仅为370瓦,一天最多可运行24小时。晶圆处理程序具有IP43的额定值,是许多工业应用的绝佳选择。总体而言,BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-407-2-S-CE是一款功能强大且可靠的晶圆处理器,非常适合大容量半导体生产环境。晶圆处理程序具有易于使用的特性和高速机器人驱动器,可帮助提高吞吐量和降低成本。
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