二手 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-407B-2-S-CE #9209888 待售

BROOKS/PRIA AUTOMATION ATM-407B-2-S-CE Wafer Handler是一个高性能、业界领先的自动化传输模块,用于在需要极端温度控制稳定性的应用中精确处理晶片。晶圆处理器的设计可容纳200毫米至200毫米不等的晶圆尺寸，并可调节以容纳各种晶圆直径和高度。该装置能够提供从源到加工工具的直接通路，具有改进晶圆控制的托盘索引机制。该装置还包括一个符合人体工程学的设计，其开口可调节，以协助晶片的装卸。BROOKS ATM-407B-2-S-CE Wafer Handler能够在垂直和水平模式下运行,提供了与各种工艺工具的最佳兼容性。该单元还采用主动堆迭技术,在大批量生产运行过程中优化晶圆管理。这使得晶片处理程序能够在不牺牲晶片完整性的情况下减少周期时间并提高生产能力。PRI AUTOMATION ATM-407B-2-S-CE设计用于将腔室温度保持在1°C或更高±,在晶圆加工过程中提供极其稳定的条件。该单元具有高级控制体系结构,可以对其进行编程以满足特定的晶圆处理要求。这是通过易于调节的工艺参数来实现的,例如晶圆速度、时间延迟以及多达16种可配置配方。这样就可以对晶圆处理程序进行精确编程,以满足客户定义的生产要求,从验证运行到高直通生产运行。ATM-407B-2-S-CE Wafer Handler还包括前端监视和诊断功能,例如内置警报、错误代码和数据日志记录。这有助于确保一致的晶片完整性,以及改进的正常运行时间和简化的维护。该装置在晶片定心和卸载方面也具有很高的精度，提供了可重复的工艺产量。总体而言,BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-407B-2-S-CE Wafer Handler是一个可靠而坚固的晶圆处理模块,可在具有极端温度控制稳定性的加工工具中精确处理晶圆。该设备的可调宽度、高度和旋转确保它与各种晶圆尺寸兼容,而其可调工艺参数使客户能够根据自己的特定生产要求对其进行微调。先进的控制体系结构、内置的监控和诊断以及高精度的定心和加载功能使BROOKS ATM-407B-2-S-CE现代工艺技术应用的绝佳选择。