二手 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM #9263033 待售

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM是为半导体晶圆製造应用而设计的自动化晶圆处理器。它是一种通用的机器人设备，可用于快速、准确地拾取、运输和放置晶片。该系统以工业机械臂为基础，利用一套集成传感器来识别和跟踪晶圆。ARM由一系列相连的臂和执行器组成，旨在提供精确的晶圆处理任务所需的垂直、水平和旋转运动。机械手安装在可水平调节的高度底座上,便于访问和放置。手臂由Allen-Bradley powerFlex驱动单元驱动，带有高扭矩伺服电机，提供平滑精确的运动。BROOKS ATM还包括集成到机器人手臂的精密视觉机，以提供晶圆的实时识别和定位。此工具可以检测晶圆边和方向,以提供准确的拾取和放置,而无需手动指定坐标。为了提高晶片放置精度和降低模具成本，该资产还采用了先进的力反馈技术来测量晶片在转移过程中对模具的接触力。这样可以确保机器人在将每个晶片放置到刀具上时考虑到它们的灵敏度。除了半自动晶片处理外，该型号还配备了自动化的工艺工具和工艺控制软件。它能够执行各种工艺步骤，如溅射、扩散、蚀刻和稀释。该软件还可用于记录与晶圆处理相关的数据，并创建具有完全追踪能力的批量报告。PRI AUTOMATION ATM是一个功能强大、用途广泛的工具，用于大容量晶圆制造应用。它专为工厂集成而设计,可针对各种客户需求进行编程。它坚固、可靠且高度可靠,为自动晶圆处理提供了低成本的解决方桉。