二手 BROOKS / PRI AUTOMATION ATR-7 #9286633 待售

BROOKS/PRI BROOKS/PRI AUTOMATATION ATR-7 Automatic Transfer Robot （ATR）是一种全自动晶圆处理器，设计用于半导体处理系统。它基于PRI AUTOMATION专有伺服运动技术，旨在与多种OEM处理系统接口。BROOKS ATR-7能够将晶片从一台设备转移到另一台设备，几乎没有人工干预。PRI AUTOMATION ATR-7是一台小巧轻巧的机器,高仅30英寸,宽17英寸.其主机由飞机品质的铝和不锈钢部件构成，其机盖由耐腐蚀铝制成。系统的所有部件都安装在单个基本模块上,以便于安装和可移植性。ATR-7装有两个晶圆托盘，每个托盘最多可容纳八个200毫米晶圆。托盘装有晶片,然后放在网格上,顶部托盘连接到驱动器电缆。栅格由低惯性直流伺服电动机驱动，可轻松控制机组运动。BROOKS/PRI AUTOMATION ATR-7由于其先进的设计和高品质的元件，也非常可靠。它包括一台双传感器计算机,用于监视操作并在检测到错误时停止刀具。它还有一个集成的供气资产，用于控制气体流向晶片，以实现一致的、可重复的过程。BROOKS ATR-7的设计具有灵活性,它具有多种功能,可与各种处理系统连接。它的通信端口可以直接连接到几种流行的型号，以及PC或控制器。PRI AUTOMATION ATR-7还允许将控制参数、坐标调整和各种输出命令直接编程到机器中。除了令人印象深刻的功能外,BROOKS/PRI AUTOMATION/PRI ATR-7易于使用,并具有用户友好的界面。它可以很容易地连接到现有的晶圆处理系统，而且得益于其直观的用户界面，操作员可以快速学习如何使用机器。BROOKS/PRI AUTOMATION ATR-7具有可靠性、灵活性和用户友好的设计,是任何需要自动晶片处理的实验室或工业环境的绝佳选择。