二手 BROOKS / PRI AUTOMATION / EQUIPE ATM-107B-2-S-CE #9211141 待售

ID: 9211141
优质的: 1998
Robot 1998 vintage.
BROOKS/PRI AUTOMATION/EQUIPE ATM-107B-2-S-CE是一种晶圆处理程序,设计用于加载和传输半导体晶圆。处理程序提供高达5700晶圆的吞吐量每小时,具有双卡片组和极短的周期时间,以提高效率。它有一个集成的扭转站,在那里晶圆被纺成允许所有过程的自动化。它还提供了多区域功能,可在一个工作站中实现多个流程步骤,从而降低上游流程的成本、规模和复杂性。晶圆处理程序采用模块化方法设计,可以快速修改,以满足独特的工艺要求,并适应不同类型的技术。这使得该处理器适用于离散元件和集成电路的制造.此外,它还具有先进的工艺环境设计,包括密封的ESD保护剂和无污染的建筑。BROOKS ATM-107B-2-S-CE有多种互锁,确保处理程序的所有部分都处于良好状态。它还具有自动视力检查功能,检查晶圆方向和其他参数,以及拒绝状态不适当的晶圆的能力。此外,该处理器还提供了精确的晶圆定位和处理的精确度和重复性.此外,机器的增强能力,包括单点晶片切割,允许低残留晶片处理过程,无缝,无污染的处理操作。为了确保晶片的最佳安全性,处理程序还包含各种预防措施,如真空收集、晶片保护屏蔽、可移动盖、带状电缆传感器和无刮擦部件。此外,EQUIPE ATM-107B-2-S-CE还配备了英特尔酷睿i7处理器,可提供高性能操作和处理复杂数据的能力。该晶圆处理程序还集成了以太网、PROFINET、DeviceNet和MODBUS通信系统等标准技术,允许轻松集成到任何设施的控制系统中。为便于设计和生产,晶片处理程序采用低功耗、灵活的体系结构和模块化设计。这简化了集成过程,确保了机械和技术的直接现代化和升级。此外,处理程序还将预防性维护、监控和诊断功能集成到其平台中,以减少停机时间并确保最佳效率。
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