二手 BROOKS / PRI AUTOMATION / EQUIPE ATM 407-1-S #9195685 待售

BROOKS/PRIA AUTOMATION/EQUIPE ATM 407-1-S晶圆处理程序是一种高度先进的机器人自动化系统,旨在移动、操纵和检查半导体晶圆。它用于洁净室环境中的精密制造过程。BROOKS/PRI处理程序是一个模块化系统,可针对个别流程需求进行自订。它包括一个主板、多个可运输的晶片盒式磁带、一个晶片穿梭机和一个检查和检测站。大型机由一个底架、一个操作员接口、一个电源、气动运动元件和伺服马达驱动器组成。可运输的晶片盒式磁带提供了一种将晶片从一个加工站运输到另一个加工站的自动化手段。它们允许将晶片快速、准确和可重复的加载和卸载到主机中。它们还配备了条形码阅读器,以提高数据完整性。晶圆穿梭器允许晶圆从一个加工站运输到主机内的另一个加工站。航天飞机是气动驱动的，可以为任意数量的晶圆定制配置。它是为高精度和可重复性与最小的振动，确保高质量的晶圆处理设计。检测站用于检测和测量晶片的任何缺陷。它配备了先进的成像和光传感器，可以精确测量晶片。传感器能准确检测晶圆缺陷，确定任何不规则性或污染。BROOKS ATM 407-1-S晶片处理程序是一个高度先进、可定制的机器人自动化系统,旨在提供高精度晶片处理和检查,能够满足当今现代洁净室环境中最苛刻的生产需求。它具有模块化结构、通用应用和坚固的结构,是最具挑战性的半导体制造过程的理想自动化解决方桉。