二手 BROOKS / PRI AUTOMATION ESC-204T-OTF-SMIF-S293 #9256427 待售

BROOKS/PRI AUTOMATION ESC-204T-OTF-SMIF-S293是为半导体工业设计的自动化晶圆处理设备。它能够处理直径不超过200毫米的晶片，以及厚度不超过25毫米的基板。它是为具有SMIF负载可能性的全敞篷框架（OTF）半自动材料输入/材料输出（MIMO）系统而设计的。BROOKS ESC-204T-OTF-SMIF-S293实现了高效、精确的晶片传输,提供了比手动、手持晶片处理方法更高的效率,并且为载荷端口内外的晶片提供了更快、更自动化的移动方式。PRI AUTOMATION ESC-204T-OTF-SMIF-S293配备晶圆处理机器人、机动化舞台以及通用控制、运动和软件元素。晶圆处理机器人技术旨在提供可靠可靠的晶圆传递、存储和检索。它由触摸面板控制，便于操作和维护，同时提供必要的晶片往返于加载端口。机动化台阶利用集成的运动控制元件，允许高度精确的载荷和卸载运动。该级还利用负载端口连接接口，使晶片能够有效地进出插座。ESC-204T-OTF-SMIF-S293还包括一个SORDIN控制器,它使系统能够全自动并能够快速跟踪数据驱动的晶圆处理。除了机器人和分期组件，BROOKS/PRI AUTOMATION ESC-204T-OTF-SMIF-S293还包含软件元素，如SORDIN控制单元，以及用于晶片装卸的自动化接口。此自动化接口为RS-232,在与外部负载端口机接口时提供了一种方便的通信方式。BROOKS ESC-204T-OTF-SMIF-S293为半自动MIMO系统提供了先进的多功能性,从而能够以更高的精度和可重复性高效处理晶片。它使用机器人技术、运动控制元件和软件元件,使其成为精密晶圆处理的理想选择,尤其是在半导体工业中。