二手 BROOKS / PRI AUTOMATION ESC-204T-S293 #9064560 待售

BROOKS/PRI AUTOMATION ESC-204T-S293晶圆处理程序是一种高级自动化解决方桉,用于高精度、高通量晶圆处理。它旨在与最近的各种机器人和计算机视觉系统连接，使其成为先进的工商业运营的理想选择。BROOKS ESC-204T-S293是一种高度精确的半导体加工设备，设计用于一次处理多达六个晶片，同时管理多达24个单独的基板位置。它具有一个完全封闭的、可移动的系统，能够自动从固定源装卸晶片。这消除了手动操作,从而提高了可靠性和准确性。PRI AUTOMATION ESC-204T-S293配备了2轴级，以方便晶片的精确对准。它具有双伺服驱动的X和Y轴,提供卓越的速度、准确性和可重复性,并具有高可靠性。该单元先进的运动控制算法保证了快速、准确、低维护的运行。ESC-204T-S293被描述为具有高精度、基于环路的控制器和24位并行抓握负载端口,从而可以对过程进行智能控制。数字扭矩传感器提供了有关级力的精确反馈，从而可以精确控制晶圆的位置和速度。此外，它还带来了加速和减速的可调死时、动态单点收敛等创新。BROOKS/PRI AUTOMATION ESC-204T-S293还配备了广泛的安全功能,旨在保护人员和设备。其中包括无源晶片喷射器、温度传感器和警告单元以及警报和状态指示器。它还包括用于连接外围设备的多个数据端口。为了提高耐用性和易操作性,BROOKS ESC-204T-S293包括用于工艺验证的高性能硬化镀铬激光器。这允许可靠的晶圆跟踪和校准。先进的控制技术还最大限度地减少了停机时间,并确保了长时间的维护。总之，PRI AUTOMATION ESC-204T-S293晶片处理程序是一种高度可靠和高效的机器，具有很高的精度和速度。其创新的设计加上广泛的安全特性，使其成为先进工商业经营的理想选择。