二手 BROOKS / PRI AUTOMATION ESC 212 #9194536 待售

BROOKS/PRI AUTOMATION ESC 212晶圆处理器是一种全自动晶圆处理系统，设计用于沉积和处理半导体。晶圆处理器可以处理直径达6英寸的晶圆，并包含多种元件，例如晶圆组、製程模组、晶圆升程模组和运输模组。晶片组可以在片组之间运输晶片，也能够将晶片单选成单独的片断，从而允许更大的表面积与基板接触。工艺模块允许各种工艺自动化，如化学气相沉积、溅射、CMP和光刻，其设计目的是最大限度地提高吞吐量，并将工艺成本降至最低。晶圆提升模组方便晶圆从传输模组转移到製程模组，也可以夹紧晶圆帧，防止在传输过程中损坏易碎晶圆。运输模块提供了必要的运动控制，以便在甲板之间以及从晶片甲板到晶片提升模块之间进行晶片传输。晶圆处理器还包括防止未经授权人员进入晶圆处理器内部的安全联锁，以及机器状态验证和故障定位的诊断软件。此外，该系统具有功率效率设计，并采用了平衡技术来降低能耗。总而言之，BROOKS ESC 212晶圆处理程序是一种高效可靠的大容量半导体加工操作工具。