二手 BROOKS / PRI AUTOMATION FAB Express #128309 待售

BROOKS/PRI AUTOMATION FAB Express是一款高端自动化晶圆处理设备，旨在提高半导体制造行业中光刻工艺的生产吞吐量。BROOKS FAB Express是一种多轴机械臂，运输和定位八英寸晶圆，水平和垂直精度为13.7微米。它具有± 7.9微米的静止位置精度，可以处理密密麻麻地装在卡带坞上和卡带坞上的晶片。PRI AUTOMATION FAB Express有自己的两轴端效应器，在拾取或设置晶圆时有17微秒的沉降时间。该系统有一个板载高速总线，将其连接到一个光刻步进器、它的主机计算机和其他机器元件。FAB Express能够在其总线上存储多达5000个不同的位置，并且每秒最多可以执行200次这些动作。它还有一个可移动的操作员控制面板，用户可以在其中手动输入命令或新的晶圆坐标。此外,BROOKS/PRI AUTOMATION FAB Express还具有碰撞和产品识别功能,一个集成的视觉单元,用于捕获传输中晶圆上的图像和反馈,以及一个条形码读取器,用于检测和处理每个盒式磁带。BROOKS FAB Express的最大传输速度为3.0 m/s，最大加速度为5.0 G。它还采用模块化设计，其组件可以分离并直接连接到控制机器。这样就无需将程序和路径重新加载到控制工具中,并简化了安装和故障排除,从而提高了效率。PRI AUTOMATION FAB Express还配备了安全系统。该资产除了被设计为满足OSHA要求外，还符合欧洲标准ENORM 14971和CE/UL安全标准。这确保了FAB Express对工人和环境安全。总之，BROOKS/PRI AUTOMATION FAB Express是一种全自动晶圆处理器模型，专门设计用于提高半导体光刻工艺的生产吞吐量和效率。这种设备可靠、高效、用途广泛。BROOKS FAB Express也符合最高安全要求，并具有灵活的功能以适应任何制造设施的要求。