二手 BROOKS / PRI AUTOMATION FAB Express #9205922 待售
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ID: 9205922
晶圆大小: 12"
优质的: 2008
Loadport, 12"
Accepts up to (3) load ports
P/N: 134081
BROOKS Robot modules:
Wafer presenter / Handling robot with (2) 300mm vacuum-holding wafer arms
Series 8 robot controller
Robot track: Y Axis
Inligner wafer aligner
Teaching pendant
2008 vintage.
BROOKS/PRIA AUTOMATION FAB Express晶圆处理器是一款高度先进的机器人设备，旨在满足半导体和电子工业的苛刻需求。BROOKS FAB Express能够处理各种晶圆尺寸,尺寸从2英寸到76mm,精度± 3微米,可用于水平或垂直方向。其先进的微处理器控制系统允许进程之间快速准确的晶圆传输，无需手动移动晶圆，确保每个晶圆精确对齐。PRI AUTOMATION FAB Express配备了多种行业标准格式的多功能负载端口，提供了适应各种晶圆配置的灵活性。这样可以实现快速和通用的操作,从而最大程度地减少在进程之间移动晶片时的停机时间。此外，FAB Express包括一个高度先进的远景单元，能够在多个站之间安全地精确放置和运输晶片。此外，晶片处理程序还具有直观和用户友好的图形用户界面，可以快速、方便地设置、配置和监控机器。它的前面板监视器提供有关流程状态的实时信息,以及任何可能需要注意的警报的可视指示灯。BROOKS/PRI AUTOMATION FAB Express还得到一个综合工具库的支持,该库提供高级自动化功能,以进一步增强其功能。此库包括集成的配方管理工具、安全的多通道传输功能、工具监控等。总体而言，BROOKS FAB Express晶片处理程序是一种高度先进和可靠的机器人资产，在多个进程之间传输晶片时提供精确控制。其先进的视觉模型、直观的用户界面、通用的负载端口和全面的工具库,使其成为任何要求苛刻的晶圆处理应用程序的理想选择。
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