二手 BROOKS / PRI AUTOMATION FAB Express #9281243 待售

BROOKS/PRIA AUTOMATION FAB Express是一款自动化晶圆处理程序,旨在为大容量、高溷合半导体设施实现工厂自动化和吞吐量效率的最大化。此晶片处理程序使用盒式磁带、盒式磁带工具或盒式磁带负载锁定传输,自动将晶片传输和加载到工艺工具、盒式磁带输入系统、负载锁定和测试处理程序。它采用模块化设计,使定制的晶圆处理系统能够设计和构建,以满足特定机构的应用要求,并提供化学兼容性和温度控制选项。BROOKS FAB Express具有灵活的配置和先进的运动控制功能,旨在优化吞吐量并最大程度地减少转换时间。它有能力处理从微型设备到大型产品的各种晶圆尺寸，并能以2,000晶圆容量管理高达6,400晶圆/小时。PRI AUTOMATION FAB Express提供各种不同的配置,以满足不同用户的需求,包括群集、线性和T形栏配置。除了晶圆处理外，FAB Express还执行真空晶圆处理、晶圆定向控制、清洗后操作，减少对人力的依赖，同时提高了高水平的过程控制和吞吐量。它还具有先进的用户编程工具,例如Visual Fab软件,以及用于安全数据传输的各种通信选项。该系统易于维护和升级,并提供备份功能和在线诊断程序。BROOKS/PRI AUTOMATION FAB Express还设计用于最大程度地减少维护停机时间,使其成为大容量应用程序的理想选择。它的耐用性和可靠性支持多次运行和延长运行持续时间。总体而言,BROOKS FAB Express是一个自动化晶圆处理系统,旨在提高大容量、高溷合半导体设施的工厂自动化和吞吐量效率。它提供了灵活的配置和高级运动控制功能,以及一系列用于安全数据传输的用户编程工具和通信选项。它具有高度可靠、耐用和易于维护的特点,并具有在线诊断和备份功能,可提供最大正常运行时间。