二手 BROOKS / PRI AUTOMATION FAB Express #9399341 待售

ID: 9399341
Loadport Part number: 109752-34.
BROOKS/PRI AUTOMATION FAB Express是一款全自动晶圆处理器,旨在满足半导体制造和研究行业的需求。BROOKS FAB Express机器人设备提供了一种经济高效的解决方桉,用于处理、装载、卸载和将晶片从一个设备转移到另一个设备。该系统以坚固可靠的平台为基础,具有不锈钢结构、高扭矩电机、自清洁导线、串行通信和晶圆精密对准先进视觉技术。PRI AUTOMATION FAB Express配备了可编程的机械臂,能够将晶片定位在最大+/-7微米精度范围内。机械臂可以在360度旋转范围内移动晶片,从而在晶片处理操作中具有很高的重复性和准确性。该机器人在各种生产环境中提供一致的性能、稳健的操作和更高的生产率。FAB Express利用先进的视觉技术,允许晶圆在转移前精确对准。这个单元提供了改进的晶圆错误的检测和识别,同时也降低了处理损坏的风险。此外,BROOKS/PRI AUTOMATION FAB Express提供了完整的互锁保护,并且可以集成到化学和危险材料处理操作中。为了便于使用,可以将BROOKS FAB Express机器人机放置在远程位置,并使用单个控制点来编程和管理整个工具的操作范围。该资产带有用户友好的图形用户界面(GUI),用于控制和监视晶圆处理操作。应用程序接口可以通过手持遥控单元或通过以太网电缆从连接到模型的计算机访问。PRI AUTOMATION FAB Express是清洁室环境的理想机器,因为它具有低成本、易于使用的功能和安全的操作。该设备确保了晶片处理的可靠和高效解决方桉,从装卸、转移到清洁、堆迭和分类。此外,先进的视觉技术包括在系统中,允许优越的性能和精确对准晶圆。凭借这些全面可靠的功能,FAB Express是在洁净室设置中处理和传输晶片的绝佳选择。
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