二手 BROOKS / PRI AUTOMATION Fixload 25 #9392799 待售

BROOKS/PRI AUTOMATION Fixload 25是一款高端、全自动的晶圆处理程序。它结合了高速、工业级的机器人技术，使硅片快速准确地加载到反应堆、熔炉以及蚀刻和沉积室等其他晶片相关设备上，同时最大限度地降低了损坏风险。BROOKS Fixload 25能够快速准确地传输和加载各种晶圆尺寸、形状和材料,每小时最多可生成和加载30个晶圆/工艺。它具有两个载荷接触点和三个晶圆位置验证方法：通过照相机、光感和机械接触感测。此外,设备会自动补偿晶圆变化或未对准所引起的任何运动,从而防止晶圆损坏。PRI AUTOMATION Fixload 25包括一个专用的视觉系统相机，它使用高清成像来精确检测和验证晶圆的位置、大小和形状。这消除了人工干预的需要，在晶圆定位精度方面提供了高度的可靠性。视觉单元还能够提供增强的晶圆表面检测功能，包括粒子缺陷检测。Fixload 25还具有多相模块化机器人平台。这样就可以实现高度灵活的工作环境,从而实现快速的产品转换和即时的计算机配置更改。该机器还具有用户友好的界面和简单的点击命令，以便快速、轻松地执行加载例程。该工具具有内置的LoadCell重量测量资产,可用于晶圆重量测量,并通过过度堆迭防止晶圆损坏。该模型还提供了对晶片加载力和位置的实时控制和反馈，从而优化了工艺参数。BROOKS/PRI AUTOMATION Fixload 25专为工业用途而设计,并获得CE认证,可集成到现有生产线中。这使得它成为大容量晶片加载任务的理想解决方桉,从而提高了生产率并降低了成本。