二手 BROOKS / PRI AUTOMATION M1900 #293607356 待售
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ID: 293607356
晶圆大小: 12"
优质的: 2017
Wafer stocker, 12"
CIM: Class
(2) KUKA Handler robots
OHT
Manual Load Port
Temperature controller
XCDA
2017 vintage.
BROOKS/PRIA AUTOMATION M1900是一款高性能的模块化晶圆处理器,旨在满足半导体行业最严格的要求。具有可靠的空气轴承驱动系统,BROOKS M1900提供晶圆负载/卸载和加工站之间快速、准确的过渡。PRI AUTOMATION M1900由于灵活的晶圆室设计,能够容纳多种尺寸的晶圆。这种灵活性支持复杂的工具配置、快速的转换和最终的吞吐量性能。M1900的人体工程学设计最大程度地减少了用户疲劳,并方便了对部件的访问以进行维护和维修。此外,BROOKS/PRI AUTOMATION M1900还具有先进的机械和电气功能控制技术。先进的晶片ID识别和自动带端校准等电气特性由直观、菜单驱动的触摸屏界面控制。板载诊断和质量控制检查可确保高准确性和可靠性。凭借强大可靠的空气驱动系统,BROOKS M1900具有快速横贯长距离的能力。在多个进程之间快速移动晶片的能力对于实现最佳吞吐量至关重要。智能传感器可自动监控和修改移动,以避免碰撞并保持平稳运行,从而进一步增强此功能。PRI自动化M1900非常适合控制半导体晶圆制造过程中的材料。凭借先进的控制技术和耐用的空气驱动系统,M1900提供了卓越的性能和卓越的性价比。它的灵活性和耐用性确保了平稳、可靠的操作以及卓越的性能。
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