二手 BROOKS / PRI AUTOMATION MTR 5 #121470 待售

BROOKS/PRI AUTOMATION MTR 5是为晶片处理而创建的单个晶片处理程序，如从工艺室装卸晶片，往返于检查系统的晶片，以及在不同刀具模块之间传输晶片帧。BROOKS MTR 5是一个以机器人为基础的系统，依靠一系列的机动化舞台，让它能够像人的手臂一样一时一刻地移动，以执行其预定的功能。它的多轴运动使得它特别适合于在灵活定义的空间中执行多个操作。它使用了几种尖端技术,例如线性驱动器和各种传感器,以确保精确、可靠的运动。它的运动控制器还允许动态、可靠的操作。PRI AUTOMATION MTR5被设计为与各种晶圆帧兼容，并且可以处理多达五种不同的卡带尺寸，用于快速晶圆分类、加载和卸载。由于其模块化设计，可以根据需要添加或删除各种不同的功能。这包括热插拔盒式磁带、多个站台、自动换档功能和双夹持器操作。用户界面使得MTR 5特别容易使用，允许用户设置不同的操作和序列，并具有不同的控制级别。还可以对自定义序列进行编程,从而允许用户更好地控制特定操作的执行方式。机器人的控制器还允许用户配置其运动的速度和加速度，并包括一系列可用于快速识别和解决晶圆处理操作问题的监控和故障排除工具。MTR5还具有一些附加功能,可确保晶圆的安全可靠处理。这些包括机载粒子控制、快速关机操作员和控制、E-Stop传感器和内置碰撞检测。该系统还提供工具安全监控,可以检测工具何时损坏或接近使用寿命。总体而言,BROOKS/PRI AUTOMATION MTR5是一款先进、可靠的晶圆处理程序,旨在简化晶圆的处理和传输过程。它的模块化设计、用户友好的界面和全面的安全监控系统确保它能够适应各种生产要求和应用。