二手 BROOKS / PRI AUTOMATION MTR 5 #178989 待售
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ID: 178989
Vacuum robot and arm set
Arm set configured with 8" wafer end-effectors
(1) end-effector: Kalrez pads, stainess steel pads for >300C hot wafer handling.
BROOKS/PRI AUTOMATION MTR 5是一款高速、高精度的晶圆处理程序,旨在协调晶圆的装载、测试和运输操作。它具有直观的操作员界面、健壮的伺服控制运动以及许多其他功能。BROOKS MTR 5采用了全自动的模具采摘设备,用于快速准确的晶圆处理,能够达到高达每分钟100件的速度。该系统非常精确,允许0.3mm+/-的紧密公差。选择器运动采用伺服控制,使用两个独立的正向高精度横辊和一个中央支撑板。这种布置提供了高度的灵活性和精确度,以及在处理晶片时更大的稳定性。PRI AUTOMATION MTR5包括许多自动功能,用于控制和监视晶片的加载、测试和运输。这些包括传感器控制的模具分类、自适应模具放置、双位置对准、选择性模具初始化和自动进料。每个操作都由配备了基于PC的操作单元和EtherNet/IP诊断模块的Allen Bradley控件监控。这允许实时性能反馈和快速故障检测。MTR5设计坚固可靠。它的组件经过精心设计,可提供最大的正常运行时间,并且需要最少的维护。整个机器构建在坚固、粉末涂层的挤压铝制框架上,不仅不需要接地,还提供了更高的稳定性和支撑。皮带传动工具采用高等级钢制造,经热处理可达到1200 °F,以提高耐用性和可靠性。此外,BROOKS/PRI AUTOMATION MTR5还配备了强大而高效的空气资产,用于处理和驱动功能。这种高效、安静的空气模型进一步降低了维护成本,使BROOKS MTR5极具成本效益。最后,设备配备了先进的安全联锁装置,防止与模具处理程序意外接触,保护操作员和产品。PRI AUTOMATION MTR 5是一个提供速度、精度、安全性和可靠性的多合一晶圆处理系统。它的计算机化控制、直观的用户界面和高级安全功能使其成为任何晶片装载、测试或运输操作的理想选择。
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