二手 BROOKS / PRI AUTOMATION MTR 5 #9064562 待售

BROOKS/PRI AUTOMATION MTR 5是一种独一无二的晶片处理程序,专为需要保证晶片对准、完美真空保持和快速晶片交换的高精度应用而设计。它具有完全集成的5轴万向节式平台，旨在与晶圆计量和光学系统接口。这种机器人设备提供步进和重复的能力，倾斜和抬高，与各种应用的广泛的配置。它利用其专利对准棱镜和3维视觉系统，确保任何类型晶片的准确和可重复放置。BROOKS MTR5晶片处理程序由三个主要组件组成：机器人、晶片支架和真空室。该机器人既具有高度可重复性，又具有精确、精确的运动控制运动能力。它的最大速度高达每秒60°，而其位置精度在40微米以内。机器人配备了广泛的外部配件，如ESD防护、气动、光学传感器、环境控制等。PRI AUTOMATION MTR5的真空处理单元（VHS）包含一个用于模具拾取和对准的电动双区域真空室。VHS能够在距离晶圆中心0.5mm半径的范围内实现精确旋转和模具对准。进气室内有几个喷嘴，针对单个晶圆尺寸进行了优化，以确保最佳的吸力。晶圆支架在运输过程中保持晶圆，可以根据任何应用需求进行定制。此外，晶圆持有者可以快速改变不同的任务。最后,BROOKS MTR5配备了S6边缘控制器,具有完全集成的驱动器/控制机,包括序列编程、HMI和用户界面以及在线过程控制。人性化的触摸屏大大简化了机器人的操作，方便了平稳的操作和过程控制。