二手 BROOKS / PRI AUTOMATION MTR 5 #9064565 待售

BROOKS/PRI AUTOMATION MTR 5是一种晶圆处理器，用于光刻和薄膜沉积过程。BROOKS MTR 5是一种精密仪器，允许精确定位和传递单个或多个晶圆。PRI AUTOMATION MTR5可以处理直径最大为5英寸、厚度最大为0.3英寸的晶片，同时最多可处理三个晶片。PRI AUTOMATION MTR 5建立在开放式框架架构上，并有嵌入式操作设备。系统由控制器单元、输入接口、低级控制模块和电机驱动程序组成。这些组件中的每一个都设计成彼此交互,并为设备提供必要的功能。控制单元负责BROOKS MTR5的运行。它由四轴操纵杆控制器、晶圆X和Y表以及方向盘组成。来自控制器的输入用于控制晶圆表的移动。输入界面是带有键盘和轨迹球的触摸屏界面。这允许用户设置自动进程并更改计算机的参数。控制器还从低级控制模块接收输入，该模块负责晶圆处理程序的实时控制。该模块可用于指定晶圆尺寸、晶圆运动速度、晶圆处理夹紧力、位置精度、晶圆传输速度和晶圆处理时序精度等参数。电机驱动程序是工具的最后一块，是实际移动晶片并放置其进行处理的单元。它由步进电机、数字轴控制器和驱动带组成。数字轴控制器负责电机的实时控制，步进电机用于晶圆的精确定位和运动。传动带负责沿所需路径移动晶片。MTR 5是一种高性能资产,提供高精度的晶圆定位和传输。它被设计为允许高速和精确晶圆传输在短距离内，使其成为理想的半导体生产。该模型能够同时支持多个晶片,并提供必要的控制和安全检查,以确保晶片在生产过程中保持安全处理。BROOKS/PRI AUTOMATION MTR5是一种可靠高效的设备,旨在提供晶圆处理的最大效率和吞吐量。