二手 BROOKS / PRI AUTOMATION MTR 5 #9111006 待售
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BROOKS/PRI AUTOMATION MTR 5是一种机器人晶片处理程序,允许用户执行全方位的晶片处理操作。该处理程序适用于25mm至300 mm的晶圆直径和最大10mm的晶圆厚度。该设备采用高端CCD(电荷耦合器件)视觉系统,结合机械臂,可实现晶圆的精确对准和定位。该处理程序可与PRI或BROOKS Ambassador前端处理器集成,并具有附加模块的选项。对于需要高级模式识别的操作,可以添加晶圆对齐设备(WAA)模块。本模块专为识别、检查和处理大多数晶片上存在的各种对齐标记而设计。设备内的输送带在机器人处理程序的产品区域内移动晶片,在需要的地方准确定位晶片。运输单元可以达到600毫米/秒的速度,从而在短时间内实现高传输。输送机还具有抗静电功能,有助于保护晶片免受不利的电影响。处理程序使用单个大幅面摄像机,为最终用户提供详细的图像。此图像用于识别模式对齐标记或读取条形码。这在手动检查过程中节省了宝贵的时间,因为用户不再需要目视检查晶片以确保定位和定向。处理程序的控制机由一台Beckhoff PLC组成,周围有4台触摸屏显示器。用户界面是直观的,为用户提供了广泛的参数来自定义处理程序的行为。可以设置操作条件,使机器人运动保持在定制的范围内。PROGRAM可以存储在内存中,从而使用户能够快速访问和运行程序以进行普通晶圆处理操作。此外,BROOKS MTR 5也可以直接连接到其他设备和控制器的网络,允许装置和外部来源之间的快速dat交换和通讯。这样就实现了高效的数据共享和工具监控。加上强大的技术能力,很容易看出为什么PRI AUTOMATION MTR5被视为领先的自动化晶圆处理程序之一。
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