二手 BROOKS / PRI AUTOMATION MTR 5 #9113603 待售

BROOKS/PRI AUTOMATION MTR 5晶圆处理器是一种用于半导体、磁盘驱动器和其他相关行业的高精度设备。它设计用于在工艺室之间精确、快速地移动和定位硅晶片。它设有一个检查窗口，允许操作员在晶片进入腔室前仔细检查其对准情况。BROOKS MTR 5使用多点触控器操作，该控制器包括3 D旋转拨盘和电容式触控滑块控制。它包括两个精确的线性导轨和一个具有高重复性和位置精度的预对准设备。这些功能加上自动化的操作员控制系统,使设备能够将晶片精确、一致地移动到加工室中,从而提高吞吐量并消除人工处理错误造成的停机时间。PRI AUTOMATION MTR5可以用多达32个不同的晶圆对准高度和拾取点进行编程，使其在处理多个晶圆尺寸时具有极大的灵活性。最大晶圆直径200毫米，晶圆平台尺寸305毫米。晶圆处理器可以与其他MTR系列晶圆製程配件结合，创造出功能很强的晶圆处理和製程工具单元。BROOKS/PRI AUTOMATION MTR5设计用于晶圆传输和单个单元中的过程处理。它包括晶片臂、移动式机器人和机器控制，它们都能配合将晶片精确地沉积到加工室内。晶圆的拾取和传送是通过一个负载端口完成的，并用一个偏心锁定工具固定。PRI AUTOMATION MTR 5配备了可编程真空泵，通过在晶片到达装载端口之前方便地预先吸尘来减少处理时间。BROOKS MTR5具有独特的自动滑动设计,在维护过程中还提供了快速、方便地进入腔室的功能。为了确保更高级别的安全,MTR5包括一个位于中心位置的安全开关,用于停止晶圆处理资产中的所有机器人。此附加功能以安全、高效的方式提高了生产效率和处理能力。这种自动化的操作员辅助机器人晶片处理程序设计为允许无故障操作的过程室与最小操作员的影响。