二手 BROOKS / PRI AUTOMATION MX 600 #79344 待售

BROOKS/PRI AUTOMATION MX 600是一种晶圆处理解决方桉，专为半导体制造、光刻和航空航天元件等超清洁生产应用而设计。BROOKS MX 600甚至能够处理最脆弱的晶片,以尽可能最清洁和最有效的方式提供准确和安全的晶片基板运输。PRI AUTOMATION MX 600晶片处理程序旨在为通常用于制造和光刻工艺的晶片基板提供高度一致的传输解决方桉。这种集成设备的设计目的是减少污染，同时减少操作过程中的运动和对准误差。MX 600经过精心设计,可提供出色的重复性、准确性和性能,使其成为依靠精确处理操作的生产应用程序的理想解决方桉。BROOKS/PRI AUTOMATION MX 600晶片处理程序由上下晶片传输级、上下传输级抓取器、上下传输臂、压板和高度调节机构组成。它具有一个基于矢量的进给系统，可以处理不同大小的晶片基板，在传输阶段大幅减少滑移和颤动。BROOKS MX 600还具有双独立高速伺服驱动器,可实现快速、精确的操作、优化效率和最大限度地减少停机时间。除了强大的机械特性外,PRI AUTOMATION MX 600还提供多种集成的电子特性,可确保准确性和优化性能。MX 600具有绝对编码器，允许在驱动器和传输臂之间传输精确的位置信息。这样可以准确地确定晶片沿运输平面的位置。另外的集成特性包括自动晶圆定心、晶圆误差检测以及与BROOKS真空接入单元（VAS）的集成，以利于优化粒子控制。BROOKS/PRI AUTOMATION MX 600经过优化,可用于超清洁生产应用程序。所有裸露的表面都被设计为提供最大的粒子控制，其机械运动与环境隔离，以确保操作过程中对环境的影响最小。BROOKS MX 600能够执行六轴处理操作,使其具有高度的通用性,并允许其集成到各种生产系统中。它还通过了CE和RoHS认证,确保产品符合所有适用的安全和环境法规。总体而言,PRI AUTOMATION MX 600晶片处理程序是超清洁生产应用中晶片处理的高级解决方桉。它能够提供精确和一致的处理性能,并且可以显着减少运输阶段的污染、运动和对准错误。MX 600是依靠脆弱晶片基板可靠转移的生产工艺的理想机器。