二手 BROOKS / PRI AUTOMATION MX 700 #89978 待售
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ID: 89978
Wafer handler
MX 700 backbone
Mag 7 robot and bysmatric arm
Top liner
VCE6 with fixed stage.
BROOKS/PRI AUTOMATION MX 700是为半导体生产应用而设计的自动化晶圆处理程序。该设备能够在最具挑战性的环境中实现高吞吐量、低周期时间和可靠的运行。这种自动晶圆处理程序采用模块化设计，在增加容量或改变工艺要求时允许最大程度的灵活性。该系统的核心是自动晶圆处理单元。这台机器能够精确可靠地将晶片送入和送出晶片盒。机器人手臂利用高速伺服电机进行快速、精确的移动。机器人手臂也可根据客户要求定制。BROOKS MX 700使用自动化的光学对准和反馈识别使晶片在线处理过程自动化。这降低了污染的风险，并最大限度地减少了人工猜测和处理调整所需的时间。自动化还减少了流程的周期时间,从而节省了大量时间。PRI AUTOMATION MX-700具有若干安全功能,可防止晶圆处理损坏。它具有内置的安全工具，以确保整个过程完成而不会对操作员造成任何伤害。碰撞感应能力和可调拾取力也降低了晶片受损的风险。PRI AUTOMATION MX 700包含一个用户友好的界面,该界面具有数据记录功能,便于编程、操作和跟踪。它还包括图像处理和复杂功能的图形用户界面。此资产能够记录和报告数据以监视整个过程。MX 700晶圆处理程序是一种适用于各种晶圆处理过程的自动化模型。它旨在在易于使用的设备中提供高性能、可靠性和安全功能,可根据客户要求进行定制。
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