二手 BROOKS / PRI AUTOMATION PRE-300 #293795355 待售

BROOKS/PRI AUTOMATION PRE-300是一种晶圆处理程序,设计用于清洁室自动化。它通常用于在半导体晶片上传输、对齐和运行蚀刻、沉积和扩散等过程。这种晶圆处理器是一种精密设备，可以可靠地处理直径高达三英寸的刚性微电子晶圆。该装置配有集成视觉系统和激光对准系统，以确保晶圆的正确定位和精确定位。这个晶片处理程序是用不锈钢框架建造的，里面装有晶片的装卸机构。三轴机械臂安装在框架上，可以沿径向和线性方向移动。手臂的端部效应器配有真空卡盘，可抓住晶片安全移动，同时其集成视觉系统确保正确定位和对准。该waferhandler装有一系列传感器来监视其操作参数。这些包括温度、压力和振动传感器。收集和分析这些数据以监视系统的所有性能。整个系统由集成视觉系统和提供高度自动化的专有软件套件控制。BROOKS PRE-300专为洁净室操作而设计，旨在最大限度地减少粒子产生、灰尘和其他潜在污染物。符合CE标准,符合所有相关安全标准。PRI自动化PRE-300是一种可靠高效的晶圆处理程序.它具有精确对齐和运行晶片的能力，是任何制造设施的绝佳补充。它是寻找能够处理各种晶圆尺寸的精密晶圆处理器的操作员的理想选择。