二手 BROOKS / PRI AUTOMATION VCE 6 #9029314 待售

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ID: 9029314
Spare part: ASSY,VCE-6,LH,AM350,POSPDR,NISTA,MCC2B LH = left hand angled configuration AM350 = Bellows drive PSOPDR = positive pressure auto door NISTA = nickel plated aluminium platform, stationary platform MCC2B = control board.
BROOKS/PRIA AUTOMATION VCE 6是晶片处理器,特别是具有二维MEMS运动能力的全自动晶片级设备,用于晶片对准、晶片屈曲等晶片处理任务。BROOKS VCE 6具有高效率的舞台设计和直观的图形用户界面,使操作员能够快速方便地管理各种尺寸的晶圆在整个指定区域的移动。PRI AUTOMATION VCE-6设计用于晶圆处理操作的速度、精度和质量至关重要的生产环境。它由包括控制器、运动控制卡和运动控制器在内的一系列组件组成。控制器包括一台基于PC的控制设备,用于控制晶圆运动,以及处理数据、通信和其他信号。运动控制卡是用于运动控制的软件和硬件,它提供沿系统x和y轴平滑且可重复的二维运动。这样可以在过程中的所有步骤(从卸载到装载)对晶片进行精确、精细的定位和对齐,以及缓冲和调整。运动控制器用于驱动步进电机,提供精确、可重复的位置控制以及实现高速晶圆处理操作。BROOKS/PRI AUTOMATION VCE-6还配备了允许高级晶片屈曲的功能,包括在屈曲时调整施加在晶片上的力的能力,以及现场监控和调整屈曲过程的能力。此外,PRI AUTOMATION VCE 6可轻松集成到现有的制造过程中,其特点是具有可编程逻辑控制器(PLC),可全面控制和监控设备的运动事件、温度和压力。最后,VCE 6还包括允许无错误操作的一系列安全功能,如紧急关闭机制和其他安全措施。这些创新和精心设计的组件的结合创造了一个可靠、快速、准确的机器,为晶圆处理任务提供了一个高性能的解决方桉。
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