二手 BROOKS / PRI AUTOMATION VCE 6 #9121532 待售

BROOKS/PRIA AUTOMATION VCE 6是一种高性能晶圆处理设备，旨在简化和增强整个晶圆尺寸变化过程。它提供了一个紧凑的设计，占用最小的地板空间，并配备了先进的安全功能，以保护人员和工具。BROOKS VCE 6系统设计用于半导体制造设施，可容纳8"-12"晶片或6"-9"晶片，兼容晶片清洗、背面处理和光刻系统。PRI AUTOMATION VCE-6由一个主基站、一个11位磁盘型运输机和一个升降机组件组成。主基站允许用户快速配置单元，以适应不同的晶圆大小和方向。它设有一个控制面板，包括一个用于操作员接口和指令的显示器，并包含连接到其他自动化设备和服务的输入和输出。运输机和升降机组件连接在一起，使操作员能够自动将晶片移动到升降机上，抓住晶片，并放置到磁盘上。升降机组件能够垂直运输以及水平晶片定位和倾斜角度调整。它还包含一个用于改变晶圆角的倒置电动机和一个用于控制晶圆运动的精密电动机。PRI AUTOMATION VCE 6还包含许多先进的安全功能，如检测运输机内部堵塞的防堵塞机、位于基站和运输机内部检测潜在碰撞的传感器、万一晶圆意外脱落的自动脱落传感器，以及最大限度地减少外部灰尘和碎屑的内部空气幕。此外，该工具还配备了自动晶圆感应资产，用于精确检测晶圆位置。VCE 6设计直观且用户友好。它包括一个易于使用和直观的图形用户界面，具有用于显示晶圆映射的触摸屏功能，并提供每个晶圆的详细信息。它还包括内置的用户管理和密码保护,以及研讨会集成和数据记录功能。所有这些特点结合其先进的安全特性，使VCE-6成为安全高效的半导体制造的理想选择。