二手 BROOKS / PRI AUTOMATION ZBot #9162072 待售

BROOKS/PRI AUTOMATION ZBot是一款高性能、全自动的晶圆处理程序。它采用单一集成平台,可减少工程时间和工作量,从而提高设备吞吐量,同时降低材料成本。集成到BROOKS ZBot中的是一个完全由计算机驱动的晶圆传输模块，它通过高度精确的机器人定位和真空拾取在工作站之间精确地移动晶圆。晶圆处理程序可根据最终用户的需要进行自定义,包括在处理流程中添加其他步骤。以满足最终用户的需求。这允许用户创建或修改现有的处理工作流,以最大限度地提高效率和产量。PRI AUTOMATION ZBot能够运行各种过程，如晶圆清洗、蚀刻、沉积、干湿氧化和退火。ZBot还使用户能够利用开放访问自动化的优势,这意味着可以从其他位置远程控制系统的任何部分。为了确保准确一致的过程控制,BROOKS/PRI AUTOMATION ZBot设计了多传感器和RFID标记标识。这样可以确保每个晶片在设备内得到适当的处理和正确的跟踪。高级跟踪功能还使用户能够监视流程历史记录并存储每个晶片的各个流程参数,从而提高流程管理的效率。BROOKS ZBot还提供卓越的可靠性和安全功能。它的闭环机器人机器允许对每个晶片的位置进行精确、实时的监控，并消除人为错误的风险。它还包括安全协议，确保晶圆表面和机器人手臂之间没有物理接触，减少污染的机会。最后,PRI AUTOMATION ZBot工具旨在方便设置、安装、培训和维护。其直观的图形用户界面（GUI）简化了操作，而其可视编程环境则允许用户通过几次鼠标点击来自定义编程序列。它还包括用于故障排除的联机帮助资产。总体而言,ZBot是一款功能强大的晶圆处理器,可提供高效可靠的性能。它旨在简化流程流程、最大限度地提高吞吐量并减少复杂性,同时确保安全可靠的流程。