二手 BROOKS Reliance ATR #99634 待售

BROOKS AutomationBROOKS Reliance ATR是一款自动晶圆处理程序，旨在为半导体加工提供高效、高通量的晶圆传输。晶圆处理程序设计用于环境控制、自动化和集成的生产线,提供卓越的速度和精度,以最大限度地提高产量。Reliance ATR的主要特点之一是使用视觉引导晶圆传输和可追踪性。这种自动化工具配有四维图像识别系统，使其能够准确识别和拾取晶圆。这消除了手动对齐的需要,在不牺牲准确性的情况下大幅提高了吞吐量。图像识别系统还用于跟踪和监控性能，使处理程序能够检测和提醒用户任何异常，进一步提高系统的整体准确性和可靠性。BROOKS Reliance ATR能够同时携带400mm和200 mm晶片,与其他兼容工具结合使用,可实现更广泛的用途和提高生产率。晶圆处理程序还设计用于通过使用集成设备处理程序将晶圆从一个工具平稳过渡到另一个工具，减少人为干预，提高机器生产率。除了上述功能外,Reliance ATR还具有许多其他优点,例如改进的环境控制、节省空间和易于维护的紧凑模块化设计,以及一套集成的安全功能。BROOKS Reliance ATR还提供了一个友好的用户界面，方便操作，以及详细的分析和报告。总体而言,BROOKS Automation Reliance ATR是一种创新的自动化设备,旨在提高吞吐量、准确性和可靠性,同时提供改进的环境控制、紧凑的设计和易于维护。BROOKS Reliance ATR凭借其集成的视觉引导晶圆传输和可追踪性、设备处理程序以及一套集成的安全功能,是自动化半导体处理的理想选择。