二手 BROOKS Techware 5 #9153587 待售

BROOKS Techware 5是一款先进的自动晶圆处理程序，设计了机器人技术、机制和视觉系统的最新进展。Techware 5在紧凑、低调的设计中结合了高速线性运动，在一次无缝操作中提供晶片的加载和卸载。晶片处理程序设计为支持200和300毫米晶片尺寸,同时与工艺室的尺寸匹配,以实现精确的对准和热完整性。集成视觉系统验证晶圆的平整度和清洁度，同时也跟踪晶圆从过程到过程，允许易于操作员跟踪。BROOKS Techware 5的先进精度是通过采用闭环反馈控制的集成伺服驱动线性和旋转级来实现的，以确保精度和可重复性。这种高度精确的运动由集成伺服驱动器系统提供动力,该系统包括以2 Gbps速度运行的多核处理器。控制器使用最新的运动控制软件和内置运动优化算法进行编程,以确定最佳的移动速度,从而实现最大吞吐量,同时确保高精度和可重复性。除了精确的运动控制外,Techware 5还设计了高级安全功能,以保护设备和人员。操作员受到安全围栏的保护，安全围栏用作联锁装置，以防止在围栏打开时操作。集成的光幕特征识别任何可能破坏操作的障碍物或异物。设计中还提供了一个紧急停止按钮,该按钮在激活时终止所有运动活动,并通知操作员采取适当的操作。BROOKS Techware 5提供可靠的数据处理和通信功能,使其能够轻松集成到各种系统中。它符合SEMI标准E92和E39,具有实时通信和集成错误检测功能。Techware 5还具有强大的诊断功能,使用最新的网络接口进行远程访问和诊断。由于其先进的运动控制、可靠的通信和高精度，BROOKS Techware 5是一款功能强大、可靠的晶圆处理程序，能够为300毫米晶圆提供高效、精确的晶圆处理。它非常适合高速、可重复环境的需求,其紧凑的设计使其非常适合空间有限的制造过程。