二手 BROOKS Techware II Ultra #9153586 待售

BROOKS Techware II Ultra是一款高性能晶圆处理设备，设计用于适应基于光刻的工艺和制造操作。它是半导体制造和其他精密工艺的理想解决方桉。Techware II Ultra配备高精度运动控制设备,采用优越的设计制造方法,可实现更好的晶圆处理精度和更快的晶圆加载速度。运动控制系统提供8轴定位器,分辨率为0.1微米,比0.1°驱动器更好。这使得它适合进行精确的晶片装卸操作。BROOKS Techware II Ultra附有闭环自动对焦单元，有助于在装卸操作中保持晶片的最佳聚焦。这有助于避免错位，提高晶片装卸操作的准确性。Techware II Ultra附有集成静电卡盘（ESC），以降低污染风险，提高晶圆零件夹紧力。它还配备了双音负载储物柜和独立的固定高度卡盘，提供灵活的晶片支撑和增强的精度。BROOKS Techware II Ultra还配备了集成的边缘握把机。这使得机器人手臂能够牢固地握住和移动晶片，而不会损坏其边缘。这样可以确保晶片在移动时被精确地抓住,从而消除任何潜在的处理错误。Techware II Ultra具有直观的用户界面和增强的安全功能,可帮助保护工具免受未经授权的访问。用户界面提供了用于配置晶片支架参数、选择晶片大小、晶片数量等的选项。它还有一个内置的校准资产，确保晶圆架正确对齐，能够以最高精度运行。总体而言，BROOKS Techware II Ultra提供了先进的精密运动、闭环自动对焦模型、集成静电卡盘、边缘抓地力设备和用户友好界面的组合，使其成为半导体制造和其他精密晶圆处理应用的绝佳选择。