二手 BROOKS VTR-5 #157592 待售

BROOKS VTR-5是一个晶圆处理程序，旨在提供精确、准确和可靠的材料定位和运输。它具有广泛的能力，包括精确晶片定位、运输、载荷/卸载操作、精确晶片运输的精确速度和加速度、晶片检查和堵塞、盒式装卸、精确材料运输和压力控制以及辅助设备控制。VTR-5是一种全自动的站对站伺服设备，为晶圆传输提供精确、准确和可靠的重复性。它具有坚固的结构、简单的维护和生产应用的准确性。该系统包括伺服控制器、伺服放大器、精密线性轴承、高分辨率编码器、脉冲电动机和5轴精密级。它还包括一个具有实时监视和控制功能的高级单元控制软件，该软件具有关于错误的自动警报功能。BROOKS VTR-5旨在以精确的速度在烤箱和加工室之间快速运输晶片，确保质量和结果一致。VTR-5还配备了晶圆阻挡机,可实现精确的材料定位和运输。这是通过精确地将凸起的销钉与晶片表面接触来实现的,这使其能够在精确的位置停止、传输、加载和卸载晶片。BROOKS VTR-5还配备了一个先进的盒式磁带装载工具，其设计目的是通过快速、准确地将盒式磁带从站对站设备装卸来减少整个过程的时间。此型号可以很容易地与任何其他设备集成。VTR-5还包括一个精确的速度和加速度特征,它允许对不同的应用进行精确的速度变化,从而允许对动子晶片进行精确和精确的微观处理。BROOKS VTR-5还包括一个辅助设备控制功能，可以精确控制相关设备，如水、气体和压力源。该设备包括一个先进的系统控制软件，该软件提供实时监测和控制，并具有自动报警功能。该装置专为工业用途而设计，与各种晶圆和芯片材料兼容。VTR-5是一个工业级晶圆处理程序，旨在提供精确准确的材料定位和运输。它具有坚固的结构和简单的维护以及精确的速度、加速度和精确的物料输送和压力控制。利用精确的速度和加速度，BROOKS VTR-5可以在烤箱、加工室和其他设备之间快速运输晶片，从而获得精确和一致的结果。精密的盒式装载机、晶圆阻断工具和辅助设备控制功能相结合，提供了精确可靠的晶圆传输资产。