二手 BROOKS VTR-5 #169514 待售

BROOKS VTR-5是指定用于半导体制造过程的单晶圆机器人真空传输和处理设备。它专为优化晶片吞吐量而设计,可提高清洁度、灵活性、可靠性和可追踪性。该系统能够处理和监视100 mm、200 mm、300 mm和450mm晶片,而无需定制的加载和卸载组件。VTR-5具有与几乎所有类型的晶片兼容的真空传输头和安全且可重复的传输过程。此外,它的12英寸触摸灵敏液晶控制面板提供了广泛的操作、诊断和维护信息。该设备还具有自动清除和自动中心功能,可实现更好的传输性能和过程重复性。该机配有配备4级、伺服控制、气动晶片握把的晶片升降机和适用于分类级生产环境的气密室。基于磁性粒子的设计接口可防止晶圆处理不当,并确保良好的处理性能。它的模块化设计还允许方便的维修和维护,并且可以快速访问设备的内部组件。BROOKS VTR-5还提供了吞吐量和清洁度性能的卓越组合,每个晶片的循环时间仅为4.6秒,它还具有实时RFID跟踪功能,可实时监控从工具加载和卸载的所有晶片。此外，它的LPC传输技术，使晶片跟踪和追踪从晶片批次，从而产生最大的生产可靠性。VTR-5是一种可靠、经济高效的半导体设备,可提高清洁度和可追踪性,具有高吞吐量和可重复性的竞争周期时间。其简单的模块化设计，加上直观的图形用户界面，保证了优质的生产线和优越的操控性能。