二手 BROOKS VTR-5 #83742 待售

ID: 83742
Robots, Model 001-7600-07.
BROOKS VTR-5晶圆处理器是一个令人印象深刻的设备,设计用于半导体生产或研究实验室。这台机器设计用于一次操纵八个平板杯板,使其能够在整个设备中快速高效地移动单个直径200毫米的晶圆。机器通过交互式、易于使用的触摸屏用户界面进行控制。一系列强大的步进电机提供旋转、倾斜和移动晶片所需的机械动力。晶片全部加载到系统中,在生产过程中,用户可以通过按下按钮将其移动到正确的杯子或盘子位置。这些晶片在高度可靠的弹簧加载膨胀支架臂的帮助下,在移动过程中都牢固地固定在适当的位置。手臂设计用来吸收与运动和旋转相关的振动和冲击。VTR-5还具有独立的温度控制冷却装置。这允许用户在操纵晶片时确保晶片的最佳温度。此设备还具有内置校准功能,允许用户定期检查机器的精度。BROOKS VTR-5是一种可靠、高速、精确的晶圆处理程序。该工具以每分钟25个晶圆的速度运行,其安静、低振动的操作使其即使在严格的清洁室协议下也能运行。由于其不锈钢结构,资产还需要最低限度的维护,而且其极长的部件使用寿命可确保更少的停机时间和更高的整体效率。VTR-5非常适合于高吞吐量生产过程或需要极其可靠和准确结果的研究应用。其直观的触摸屏界面使模型非常人性化,坚固的构造和较长的组件寿命保证了长期的可靠性和一致的性能。
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