二手 BROOKS WTM-511 #132336 待售

BROOKS WTM-511 Semiconductor Wafer Handler是一种全自动晶圆传输机制，旨在提高生产率和吞吐量，同时减少晶圆断裂，在微电子制造业。WTM-511是一种马达驱动的、低矮的设备，在广泛的温度、湿度和清洁水平范围内运行。它包括保护操作员和产品所需的所有安全功能。它设计用于处理直径从150毫米到200毫米的裸晶片和钝化晶片,吞吐量高。处理程序包括广泛的定制部件，包括直驱电机、低调夹具驱动系统、晶圆运动控制凸轮、高速光学互锁以及双机器人升力机构。直驱电动机能够达到高达1,000 rpm的转速，并提供高度的精度和速度。低调的夹具释放单元降低了设备的高度，防止晶圆因垂直位移或颠簸而断裂。凸轮驱动的晶圆运动控制机每次都准确一致地将处理程序定位到同一点，提高了可靠性，降低了晶圆损坏的风险。为了额外的安全，高速光学互锁监视处理程序周围的大气状况，并在条件不在必要要求范围内时采取行动停止处理程序。双机器人提升机构使操作员能够安全地插入或移除晶片而不会造成损坏的风险。BROOKS WTM-511是一种高效可靠的微电子制造工具。它增加吞吐量，同时减少晶圆断裂和保护操作员。其直接驱动电机、低调夹具释放工具、晶圆运动控制凸轮、高速光学互锁和双机器人提升机构只是其中的一些功能，使其成为任何希望提高其半导体工艺生产率和准确性的人的理想选择。