二手 BROOKS ZBot II 001-6300-03 #9020040 待售

BROOKS ZBot II 001-6300-03是为晶圆处理自动化而设计的晶圆处理器。它配备了强大的机械臂，可以精确定位和操纵晶片。这使设备能够精确处理直径达200毫米、厚度达13毫米的晶片。该系统配有真空夹具，确保处理程序在整个周期内对晶片有一个安全的抓地力，以便进行精确的处理。机械臂是可编程的，允许定制抓握、（打孔/抓斗）动作和定位序列。利用其定制的晶片处理屏蔽，该单元可以保护晶片免受损坏和污染，同时也减少了完成每次操作所需的时间。ZBot II专为高速运行而设计，并配有毯式监测机。它有一个伺服驱动的直流电动机，能够提供高精度和重复性，从而确保在循环过程中可靠的晶圆传输。该刀具还具有六轴平行运动资产，使其能够非常精确地移动和定位。这种运动模型使得ZBot II能够快速准确地处理晶片。设备具有直观的用户界面,使操作员能够轻松自定义设置、启动/停止周期以及排除任何问题。其计算机控制系统能够同时处理不同尺寸的多个晶片。这使得它能够可靠地处理大量晶圆批次而不牺牲精度。设备的内部监视机器及其用户友好的显示面板始终提供有关循环状态的所有必要信息。这种晶圆处理程序设计用于支持长期精度和操作可靠性至关重要的应用程序。ZBot II 001-6300-03具有高速和内置的安全特性,是可靠的晶圆处理的完美解决方桉。