二手 BS TECH BST60-EXP #9298251 待售
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BS TECH BST60-EXP是一款多合一晶圆处理器,旨在为先进的半导体制造操作提供可靠的高速机器人拾取和放置操作。该设备能够传输每秒多达24个晶片,以及精确定位分辨率高达5 µm且可重复性为3 µm的晶片。这种自动化设备的设计具有很高的适应性,可用于处理具有不同凹槽配置或间距的晶片。该处理程序建立在高度刚性的框架上,包括一个强大的5轴伺服运动系统,为任何方向提供可靠和精确的晶圆特定处理。此运动单元还具有高级自学功能,可确保以一致的精度处理所有晶片。内置视觉机器可实现精确的晶圆识别,并为各种晶圆配置提供最少的设置时间。集成的加载、卸载和单数工具使操作员能够快速轻松地将多达50个晶片直接从弹匣装卸到处理程序。处理程序还配备了全面的安全包,旨在确保安全的工作环境。该资产具有E-Stop按钮、轻型安全帘以及旨在检测设备运行不安全时的安全警报模型。如果检测到任何不安全的情况,系统将自动停止操作以防止发生事故。此外,BST60-EXP还配备了直观的触摸屏用户界面,使操作员能够轻松控制和监视操作,并自动对流程参数进行编程。用户界面还可以提供对流程的完整概述,使操作员能够快速调整和调整流程参数,以适应他们各自的需求。BS TECH BST60-EXP提供先进和全面的技术,使自动高速拾取和放置晶片成为可能。这个单元提供了一个可靠、准确的解决方桉,用于执行甚至最复杂的半导体制造操作,确保晶片被安全快速地处理。
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