二手 COMET R2D #9397149 待售

COMET R2D Wafer Handler是一种自动化、功能齐全的单晶片加工设备,专为工业半导体制造应用而设计。它是生产、安全和可靠性的理想解决方桉。该系统具有很高的可靠性和易用性，因为它采用了双轴机械臂与运动控制和晶圆处理工具。R2D具有200 mm晶片处理能力,并为晶片处理提供了一整套选项和工艺工具,包括传输、验证、蚀刻、清洁和掩蔽。晶圆处理程序配备了强大的机械臂，可实现精确的晶圆运动，非常适合高通量生产。它在距离晶圆中心50毫米的偏心坐标范围内提供晶圆的快速准确定位。此外，该臂具有高精度的传感器单元，为精确的触角提供自由形式的运动，并保持晶圆处理的高精度。COMET R2D还包括一个电机控制选项，使精确和可重复晶圆运动速度。在晶片处理和加工工具方面，机器配备了多个晶片处理模块，包括湿蚀刻、自旋涂层、光刻、干蚀刻，实现了从洁净间到光刻到蚀刻的全晶片工艺步骤。此外，该工具还结合了具有多种警报和紧急停止功能的完全集成的安全资产，保证了设备的安全运行。此外，该模型设计方便可靠的维护，内置模块易于更换和校准。总体而言,R2D Wafer Handler是需要高精度和高通量半导体制造的工业应用的理想解决方桉。该设备提供可靠、用户友好和高效的解决方桉,确保晶圆处理的安全和准确。