二手 DENSO VM-6070DM #9121552 待售
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DENSO VM-6070DM是一款采用最新机器人技术设计的高精度自动化晶圆处理器。它具有先进的视觉设备和独特的多轴机器人,提供精确的晶圆处理和操作。机器人能够处理和抓握各种晶圆大小和形状,包括圆形、矩形和六边形。该系统配备了最先进的触摸感应视觉单元,在定位和抓握晶片方面实现了高精度。视觉机配备了2D和3D色彩测量功能,允许更精确的晶圆检测和处理。各种标记也可用于提高定位精度。该工具通过其专有的控制资产确保了可靠、可重复的晶圆处理过程。该模型设计为使用其多轴机器人进行多次采摘和放置操作,并提供一系列功能,如气动和真空控制、真空维护和释放以及配方加载。机器人还可以进行对准、重新定向、晶圆转移等高速操作。晶圆处理程序还具有高速晶圆分类和卸载功能,能够快速、精确地识别和分类晶圆。其视觉设备提供了节省时间的功能,从而加快了分类时间。利用其简单的编程功能,用户可以轻松创建用于自动晶圆处理的自定义程序。总体而言,VM-6070DM是一个功能强大的晶圆处理程序,旨在提供高级自动化功能。其视觉系统、多轴机器人和增强的控制单元提供准确可靠的晶圆处理操作,使生产过程更快、更高效。
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