二手 ENTEGRIS F300 AutoPod #9174710 待售

ENTEGRIS F300 Autopod晶片处理程序是一种自动化设备,旨在实现各种半导体晶片的快速、高效处理和移动。这种专门设计的晶圆处理程序经过优化，可用于高度先进的ENTEGRIS F300半导体处理系统。F300 Autopod通过其先进的安全接触泡沫装置技术提供了高度精确的可重复运动。这台机器采用智能控制,使其能够管理各种晶圆类型和尺寸（200毫米至300毫米）。此外，F300允许用户借助其精确的闭环电机控制器，精确控制机器人的速度和加速度。该工具可以加工任何质量的基材（抛光、切割、图桉化或涂层），并且能够容纳全部或部分200mm-300mm晶圆。它还提供了广泛的集成功能，包括可编程晶圆定位、可调速度和防倾斜模块。其完全集成的设计具有最先进的腔室运输资产，允许用户管理腔室位置精度和负载精度，而无需额外的子系统或仪器。ENTEGRIS F300 Autopod还采用晶圆识别技术（Sfoti）.F300 Autopod的另一个驾驶特点是其卓越的安全性。其先进的安全系统确保晶片处理程序在设定的速度和加速度范围内运行，提供稳定、毫不妥协的工艺性能。使用记录所有操作的完整数据记录模型来监控其可靠性和准确性。ENTEGRIS F300 Autopod是寻找相关晶圆处理和处理系统的任何半导体制造设施的重要而可靠的工具。其面向用户的特性、安全系统和精确性能使其成为业内最佳选择之一。