二手 ENTEGRIS F300 #293695400 待售

ENTEGRIS F300是一种先进的晶圆处理设备,旨在提供可靠的芯片制造、封装和测试操作。该系统利用先进的机器人技术和运动控制技术，允许在工具室之间进行快速、精确的晶圆传输。它利用了一个专有的驱动单元，允许晶片的可靠、高速移动，直径可达200毫米。ENTEGRIS F 300晶片处理程序能够同时容纳多达200个晶片,从而实现高生产作业吞吐量。F300的精密机器人操作精度为正负10微米,可重复性最高。F 300还利用ENTEGRIS反应性清洁功能,减少晶圆传输过程中的颗粒数污染和无污染处理。它还提供快速启动和符合人体工程学的机器人手臂设计,方便工具访问.ENTEGRIS F300是一种灵活的机器,可实现自动晶圆生产、测试和传输操作。其用户友好的界面允许编程晶圆处理命令，并易于与现有晶圆制造系统集成。它的开放式体系结构设计允许根据特定的用户需求轻松定制。ENTEGRIS F 300的设计采用了适应性强的模块化基本框架,可以轻松地重新配置以适应其他工具和流程。F300还具有用于晶片传输过程中安全抓握的真空夹紧工具,以及用于晶片处理故障的传感器中断电路检测。F 300晶圆处理程序设计具有先进的安全功能，包括超速安全限制和紧急中止门。它还提供了一系列警报和资产诊断功能,提供有关可能的错误、故障、泄漏、断裂晶片等的反馈。最后,ENTEGRIS F300附带了ENTEGRIS提供的全面服务包,确保始终保持最佳性能。