二手 ENTEGRIS / FLUOROWARE A182-50MBHLZ #54838 待售

ID: 54838
晶圆大小: 6"
Teflon cassettes with a front handle Designed to be used for 6" wafers These can be modified by cutting off the handle to become PN A182-50MB cassettes Many available.
ENTEGRIS/FLUOROWARE A182-50MBHLZ是为各种工作环境设计的高性能机器人晶圆处理器。它配备了增强、坚固和安全的控制设备,用于直径不超过12英寸(300毫米)的晶片的自动分类、对准、旋转和传输。晶圆处理程序采用了复杂的集成控制系统,为晶圆处理提供了极大的灵活性和准确性。控制器运行基于Windows的直观ENTEGRIS软件,该软件允许设备操作、配置和诊断。操作员具有广泛的过程控制功能,包括压力、速度、行程和端口选择。机器的设计使其可靠易用,同时提供高精度,没有人工输入。该工具软件使用户能够轻松地对晶圆传输、对齐和拾取速度和移动进行编程。ENTEGRIS A182-50MBHLZ使用功能强大的100-W马达和编码器组件来驱动双卡带机器人,以安全可靠的方式提供精确和可重复的晶圆移动。机器人还配备了可调节的旋转木马和自动传感器资产,使其能够快速准确地拾取和放置数百个晶圆口袋。集成控制器允许全速控制,并提供机器人手臂的瞬间平移和旋转运动。FLUOROWARE A182-50MBHLZ中包含的高级机器人技术旨在无需人工干预即可处理任何晶圆外形尺寸。这包括高达12英寸(300mm)的晶圆直径和高达5mm的厚度变化。它还包括条形码和光学识别等先进的晶圆检测和对准功能。板载传感器和编程逻辑确保了多达数百个晶圆的快速、安全和准确的处理。A182-50MBHLZ还具有丰富的热控制功能、防护罩外壳、手臂重置功能、基座对准和自动位置恢复功能。完全可编程的处理参数使操作员能够设置各种功能,包括速度、航程和端口选择。晶圆处理器还可以与其他精密设备如检查或测试系统接口。总体而言,ENTEGRIS/FLUOROWARE A182-50MBHLZ是一款前沿晶圆处理器,旨在在任何工作环境中实现最佳性能和可靠性。作为材料处理的终极自动化解决方桉,高级行业和希望提高生产质量并以绝对准确的方式及时交付结果的公司都可以使用它。
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