二手 ENTEGRIS H 9150 #9193069 待售

ENTEGRIS H 9150是专门为光伏应用和晶圆测试而设计的晶圆处理器。晶片处理程序能够精确处理尺寸从25毫米到200毫米不等的晶片,可用于各种处理步骤,包括处理、对准、分类、测试和运输。晶圆处理器的独特设计通过使用惰性载流子基板、真空互锁和零力对准，确保了精确的可重复性和无损过程能力。晶圆处理程序采用单一基板设计,集成了硬件和软件以简化快速设置和可靠的可重复性。真正的零力对准设备可确保晶片的精确测量和操作，而无需对晶片本身施加任何机械力。其他特点包括单片跟踪、可调晶片盒夹紧机构、自动精确晶片定心。此外，晶圆处理程序还配备了精确和可重复的位置控制，用于关键的对准/定位操作。晶圆处理程序由可自动加载而不中断的特定组件组成。这包括一个晶片穿梭系统，设计用于自动晶片加载、分类和库存利用，以进行工厂优化，以及将整个晶片自动卸载和转移到标准的SART盒式磁带中。ENTEGRIS还提供了一个全自动测试系统和一个集成的缓冲区/卸载单元，使晶圆能够在生产线上全自动传输。此外,晶片投递器提供多种处理能力,以满足特定客户的需求、不同的晶片取向和有源晶片定心机,从而使晶片可以通过多种方式处理。晶圆处理程序与大多数行业标准机器人机械手完全兼容，可以集成到大多数工厂自动化系统中。综上所述，H 9150是为光伏和晶圆测试应用而设计的高性能、自动化晶圆处理程序。晶圆处理程序提供精确的重复性、主动定心和零力对准，以实现无损处理能力。其单一的底板设计、集成的硬件和软件,以及与机器人机械手的兼容性,使其成为希望实现生产过程自动化的工厂的理想选择。