二手 ENTEGRIS KA182-60MB-47C02 #9224930 待售

ENTEGRIS KA182-60MB-47C02是ENTEGRIS制造的晶圆处理程序。它旨在提供一种简单而有效的方法来一致和高效地处理晶片。KA182-60MB-47C02具有一组组件：运输悬挂组件、晶圆托运人和加工室组件。运输悬挂组件负责提供晶片从处理器正面到背面的平稳可靠传输。它由轨道驱动机构组成，由步进电机驱动，利用精密轴承和滑轮实现精确运动。另外，剪刀升降机用于平稳地提升和降低运输悬挂组件，而不会对晶片造成任何干扰。晶片托运人是晶片储存和运输到加工室组件的地方。晶片托运人采用真空驱动的卡盘系统，能够快速方便地装卸晶片。此外，还采用集成视觉系统对晶片托运人的位置进行监测和调整，以便对晶片进行精确的装卸。最后,加工室装配是晶片处理和处理的地方.它包含一个真空室，允许控制过程气氛，以及各种控制面板和用户界面，以确保晶片的正确处理。此外,ENTEGRIS获得专利的专有干式/干式处理技术允许无污染环境。该工艺室组件还具有ENTEGRIS专有的机器人技术，该技术旨在以受控和可靠的方式精确移动、操纵和处理晶片。总体而言，ENTEGRIS KA182-60MB-47C02是一种专业级晶片处理程序，旨在消除精确可靠的晶片处理，使其非常适合需要高度可靠和精确晶片处理的操作。