二手 ENTEGRIS KA198-80M #293590956 待售

ENTEGRIS KA198-80M是一种用于半导体制造中的阵列和成像的晶圆处理器。它是一个集成的机器人平台，设计用于光刻系统。这个晶片处理程序提供了一个多轴配置，最多4个轴和一个雪橇型臂和机械手移动半导体晶片从卡带到卡带在顺序机器人的方式。KA198-80M的重复性为+80 μ m/单轴,典型电源为80 Amps,稳态速度高达3 m/s。它减少了沉降时间和低轮廓设计,可加快周期时间和提高吞吐量。它配备了一个创新的密封机械臂，防止暴露在腐蚀环境中，确保最高水平的控制，精度和准确性。手臂的升力机构设计为一次传递最多八个8吋晶圆。ENTEGRIS KA198-80M采用倾斜旋转机构构建,并为每个轴配置专用电动机。该电动机能够支撑高达5公斤的静态负载和高达6公斤的动态负载。此晶片处理程序的最大倾斜角度为± 4度,这允许目标暴露于晶片上的IC。KA198-80M晶片处理程序利用最新的缝合算法在操作过程中被碰撞时进行快速恢复。高级控制算法使设备能够快速识别和重新创建晶圆的确切位置,以便快速恢复操作。手臂的低轮廓也消除了障碍物，允许在狭窄的曲线和过道上航行时有间隙。这个晶圆处理程序被设计成集成到广泛的半导体制造系统和应用中。ENTEGRIS KA198-80M可用于多种过程,包括但不限于半导体制造、测试和表征。该单元易于编程、集成紧凑、操作可靠。KA198-80M晶圆处理程序将被证明是一个有用的工具，用于寻找可靠的高端晶圆处理程序来满足他们的需求。