二手 ENTEGRIS Ultrapak 1500 #161074 待售

ENTEGRIS Ultrapak 1500
ID: 161074
晶圆大小: 8"
8" wafer shipping boxes.
ENTEGRIS Ultrapak 1500 Wafer Handler是一种半自动晶圆处理解决方桉,旨在简化晶圆处理并最大限度地延长半导体制造应用的正常运行时间。Ultrapak 1500能够处理多达四种不同的晶片大小,并且专为快速晶片加载、卸载和对齐而设计。ENTEGRIS Ultrapak 1500采用铸铝和粉末涂层钢制成的耐用框架设计,使用寿命长。这台机器采用模块化结构设计,便于定制和快速重新配置不同的晶圆尺寸。对于安全的晶片装卸操作,Ultrapak 1500使用定制的四点悬挂系统,具有可调节的力反馈能力,以确保在晶片上正确接触和握持,而不会损坏表面。ENTEGRIS Ultrapak 1500具有零触摸对准选项,允许晶圆处理程序和盒式磁带之间的精确对准。这是通过使用重复精度为+/-4毫米的可编程扫描仪来实现的,这样可以使晶圆处理程序和卡带保持一致的对准,从而最大限度地减少因未对准而导致的停机时间。Ultrapak 1500还包括一个自动晶圆中心工作站,用户可调节其同轴对齐方式。ENTEGRIS Ultrapak 1500具有耐用的不锈钢真空拾音器臂,能够在一个周期内处理多达20个全片状晶片,旋转速度高达7200 RPM。手臂采用力反馈系统进行设计,以确保轻柔地处理细腻的晶片,而不会造成损坏的危险。真空拾取臂由集成伺服马达提供动力,以最小的停机时间提供快速准确的晶圆处理。Ultrapak 1500设计为易于操作,它具有直观的图形用户界面,允许用户快速编程和监视操作。ENTEGRIS Ultrapak 1500可与现有自动化系统集成,符合SEMI标准。该机还具有内置的安全功能,如门传感器和限位开关,以确保操作员的安全。综上所述,Ultrapak 1500 Wafer Handler是一种半自动晶圆处理解决方桉,专为半导体制造应用中的快速高效晶圆处理而设计。ENTEGRIS Ultrapak 1500设计方便操作,可使用耐用的不锈钢真空拾取臂处理多达四种不同尺寸的晶圆。该机器还具有高级对齐选项、自动晶圆居中、直观的图形用户界面和安全功能。
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