二手 ENTEGRIS Ultrapak #55219 待售

ENTEGRIS Ultrapak是一款晶圆处理器，设计用于各种半导体生产和测试应用。它提供了与所有标准晶片尺寸的完全兼容性，并支持卡带到卡带和机器人到机器人运输的各种应用。Ultrapak具有独特的模块化设计,可根据特定的过程和产品要求进行调整和配置。晶片被装入盒式磁带并放入ENTEGRIS Ultrapak单元，然后由机械臂将盒式磁带运送到下一个处理步骤。Ultrapak的冗余设计提供了可靠性和维护方面的优势,同时最大限度地降低了设备故障和污染的风险。ENTEGRIS Ultrapak可用于新的和现有的工艺设备,并配置为与各种自动化系统配合使用。其内置的多位置真空系统，以较低的操控力和最小的振动提供精确、高速的晶圆传输，导致更少的颗粒和模具损坏。此外,Ultrapak还可以配置双腔室设计,包括运输机和敏感器,以便能够从各种晶圆市场进行批量加载和索引。它的机械臂能够以高精度将晶片定位到处理程序中的任何位置，从而能够在一个周期内快速定位多个晶片。ENTEGRIS Ultrapak具有最先进的安全功能,可确保操作员的安全并最大程度地减少污染。它的空气过滤系统旨在防止污染物和颗粒进入过程，其屏蔽很容易被去除以进行维护或清洁。此外，其先进的感应系统还能确保晶片的正确加载和定位，以及故障检测和对晶片未对准的快速响应。Ultrapak设计有许多特定于过程的组件,包括传输负载锁、晶圆加载夹具和晶圆定位器。转移载荷锁确保转移是安全的，并将运输过程中污染和产生颗粒的风险降至最低。晶片加载夹具有助于将晶片精确定位到位，并具有独特的单脉冲加载功能，有助于减少粒子生成。最后,晶圆定位器提供高精度晶圆放置,并有助于确保整个过程中晶圆的足迹均匀。